濺射是一種先進的薄膜材(cái)料製(zhì)備技(jì)術(shù), 它利用離子源產生的離(lí)子, 在(zài)真空中加速聚集成高速離子流, 轟擊固體表麵, 離子和固體表麵的原子(zǐ)發生動能交換, 使固體表麵的(de)原子(zǐ)離開靶材並沉積在基材表麵, 從而形成納米或微米薄膜。而被轟擊的(de)固體是用濺(jiàn)射法(fǎ)沉積薄膜的原材料, 稱(chēng)為濺(jiàn)射靶材。鎢靶材和鉬靶材可在(zài)各類(lèi)基材上形成薄膜(mó), 這種濺射膜廣泛用作電子部件和電子產品, 如目前廣泛應用的(de)TFT - LCD ( 薄膜半導體管-液晶顯示器)、等離子顯示屏、無機光發射二極管顯(xiǎn)示(shì)器、場發射顯示(shì)器、薄(báo)膜太陽能電池(chí)、傳感器、半導體裝置以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物半導體)的場效應晶體管柵極等(děng) 。
愛科麥可(kě)生產的鎢濺射靶材包括鎢平麵靶材和鎢旋轉靶材,以配合(hé)不同型號(hào)的(de)磁控(kòng)濺(jiàn)射設(shè)備使(shǐ)用。在使用過(guò)程中,鎢旋轉靶材的利(lì)用率遠大於鎢平麵靶材(cái)。
由於使用了熱等靜壓技術,愛科麥生產的鎢靶材(cái)的密度接近理論密度(dù),其組織均(jun1)勻性(xìng)及純度等指標(biāo)均受到了(le)客戶好評。
衡量(liàng)鎢(wū)靶材(cái)的質量主要因素有 純度、致密度、晶粒尺寸(cùn)及分布等。在這(zhè)些方麵,愛(ài)科麥投入了大量的資金和精力(lì)進行研(yán)發並取得了顯著成效。並形成了具有以(yǐ)下特點的生產工藝(1)選擇高純鎢粉作為原料(liào); ( 2)獨有的成形(xíng)燒結(jié)技術, 以(yǐ)保證靶材(cái)的低孔(kǒng)隙率, 並控製晶粒度; ( 3)製備過程嚴格控製(zhì)雜質元素的引入。(4)大尺寸鎢鉬材料(liào)的細晶軋製技術。(5)對部分高要求產品采用熱等靜壓方法,*大程度地獲得了鎢靶材的良好性能。如(rú)此方法製得的鎢靶材獲得了18.6以上極高密度細晶粒產品。
此(cǐ)外,愛(ài)科麥生產近期致力於以下產品的研(yán)發並取(qǔ)得了突破:
1.產品(pǐn)大型化 生產出了單張尺(chǐ)寸規格為1 430mm *1 700mm *10 mm適合於G5代TFT鍍膜設(shè)備的鉬及鉬鉭靶材。對於更大的產品減少了拚接的數(shù)量。
2.為適應市場提高靶材利用率需求,正在研發製造長度超過3米的燒(shāo)結旋(xuán)轉靶材,此種方法生產的鉬靶材與噴塗法相比,具有質密的優勢。
3.新興的(de)鎢鈦靶(bǎ)材的研製