濺射是一種(zhǒng)先進的薄膜材料製(zhì)備(bèi)技術, 它利用離(lí)子源產(chǎn)生的離子, 在真(zhēn)空中加速聚集成(chéng)高速離子(zǐ)流, 轟擊固體表麵, 離子和固體表麵(miàn)的(de)原子(zǐ)發生動能(néng)交(jiāo)換, 使(shǐ)固體表(biǎo)麵的(de)原子離開靶材並沉積在基材表麵, 從(cóng)而形成納米或微米薄膜。而被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的(de)原材料, 稱(chēng)為濺射靶材。鎢靶材(cái)和鉬靶材可在各類基材上形成薄膜, 這種濺射膜廣泛用(yòng)作電子部件和電子產品, 如目前廣泛應用的TFT - LCD ( 薄膜半導體(tǐ)管-液晶(jīng)顯示器)、等離子顯示屏、無(wú)機光發(fā)射二極管(guǎn)顯(xiǎn)示器、場發射顯示器、薄膜太陽能電池(chí)、傳感器、半導體裝置(zhì)以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物半導體)的場效應晶體管柵極等 。
愛科麥可生產的鎢濺(jiàn)射靶材(cái)包括鎢平麵靶材和鎢旋轉靶材,以配合不同型號的磁控濺射設備使用。在使用過(guò)程中,鎢旋轉靶材的利用率遠大於鎢平(píng)麵靶材。
由於使用了熱(rè)等(děng)靜壓(yā)技(jì)術,愛科麥生產的鎢靶材的密度接近理論密度,其組織均勻性及純度等指標均受到了客戶好評。
衡量鎢靶材的質量主(zhǔ)要因(yīn)素有 純(chún)度、致密度、晶粒尺寸及(jí)分布等。在(zài)這些方麵,愛科麥投入了大量的資金和精力進行研發並取得(dé)了(le)顯(xiǎn)著成效。並形(xíng)成了具有(yǒu)以(yǐ)下特點的生產(chǎn)工藝(yì)(1)選擇高純(chún)鎢粉作為原料; ( 2)獨有的成形燒結技術, 以保證靶材的低孔隙率(lǜ), 並控(kòng)製晶粒度; ( 3)製備過程嚴格控製雜質元素的引入。(4)大(dà)尺寸(cùn)鎢鉬材料的細晶軋製技術。(5)對部分高(gāo)要求產品采用熱等靜壓方法(fǎ),*大程度(dù)地(dì)獲得了(le)鎢靶材的良好性能。如此方法製得的(de)鎢靶材(cái)獲得(dé)了18.6以上極高密度細晶粒產品。
此外,愛科麥(mài)生產近期(qī)致力於以下產品的(de)研發並取得了突破:
1.產品大型化 生產出了單(dān)張(zhāng)尺寸規格為1 430mm *1 700mm *10 mm適合於G5代TFT鍍膜設備的鉬及鉬鉭靶材。對於更大的產品減少了拚接的數量。
2.為適應市場提高靶(bǎ)材利用率需求,正在研發製造長度超過3米的燒結旋轉靶材,此種方法生產的鉬靶材(cái)與噴塗法相比,具有質密的優勢。
3.新興的鎢鈦靶材的(de)研(yán)製