氣軸襯是離子注入機離子源的重要組件。不同粒（lì）子注入機廠家的氣軸襯有（yǒu）不同的形狀和規格。我公（gōng）司可根據（jù）客戶圖紙（zhǐ）加（jiā）工成型。由於（yú）我們生產加工氣軸襯所需的鎢鉬原材料（liào），所以除（chú）氣軸襯尺寸精度（dù）外，產品性能可以得到保障。
根據不（bú）同廠家設計，氣軸襯可能（néng）由（yóu）鎢材質（zhì）或鉬材質製（zhì）成。
離子注入是現代集成電路製造（zào）中（zhōng）的一種非（fēi）常（cháng）重要的技術，其利用離子注入機實現半導（dǎo）體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子，產生電離的特定雜質原子經（jīng）靜電場加速後打到矽單晶圓片表（biǎo）麵，並打入半（bàn）導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在離子源發生的電子轉換（huàn）為電漿離子時，會產生2000℃以上（shàng）的工作溫度，離子束噴發時，也會產（chǎn）生很（hěn）大的離子（zǐ）動能，一般金屬會很快燒熔，因此（cǐ）需要質量密度較大的惰性金屬（shǔ），以（yǐ）維持（chí）離子束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬（mù）是必選材料。由於鎢鉬材料高溫（wēn）化學性質（zhì）穩定（dìng）、熱（rè）變形小和使用壽命長等優點，因此半導體行業（yè）離子注入機弧光反應腔零組件及耗件多采用（yòng）鎢、鉬（mù）材料製造（zào），這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心（xīn）固定杆、起弧室內的絲極板等，我們統稱為離子注入用鎢（wū）零件和離子注入用鉬（mù）零件。
離子注入（rù）用鎢鉬零件所用（yòng）材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優化（huà），包括細（xì）晶化、合金化（huà）處理，真空燒結和熱等靜壓燒結致密化，二（èr）次晶粒細化控軋技術，普遍提高傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫（wēn）及（jí）抗蠕變性能。
我公司生產的離子（zǐ）注入用鎢鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能（néng）指標（biāo）比普通鎢鉬材料明顯提高，使用（yòng）壽命也明顯延長。