燈絲屏（píng）是離子注入機（jī）離子源的重（chóng）要組（zǔ）件。不同（tóng）粒子注入機廠家的燈絲屏（píng）有不同（tóng）的形狀和規格。我公司（sī）可根據客戶圖紙加工成（chéng）型。由於（yú）我們生產加工燈絲屏所需的（de）鎢鉬原材料，所以除燈（dēng）絲（sī）屏尺寸精度（dù）外（wài），產品性能可以（yǐ）得到保障。
根據不同廠家設計，燈絲屏可能（néng）由鎢材質或鉬（mù）材質製成。
離子（zǐ）注入是現代集成電（diàn）路製造中的一種非常重要的技術，其利用離子注入機（jī）實現半（bàn）導體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發射（shè）電子（zǐ）轟擊（jī）含有特定的雜（zá）質元素（sù）的氣（qì）體分子，產生電離的特（tè）定雜質原子（zǐ）經（jīng）靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在離子源發生的電（diàn）子轉換為電漿離子時，會產（chǎn）生2000℃以（yǐ）上（shàng）的工（gōng）作溫度，離子束噴發時，也會產生（shēng）很大的離子動能，一般金屬會很快（kuài）燒熔，因此需要質量（liàng）密度較大的惰性金屬（shǔ），以維持離子束噴發方向，並增加組（zǔ）件耐用度，鎢鉬是必選材料。由（yóu）於鎢鉬材料高溫化學性質穩定、熱（rè）變形小和使用壽命長（zhǎng）等（děng）優點，因此半導體行業離（lí）子注入機弧光反應（yīng）腔零組件及耗件多采（cǎi）用鎢、鉬材料（liào）製造，這（zhè）些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵（miàn）板、中心（xīn）固定杆、起弧室內的絲極板等，我們統（tǒng）稱為離子注入用鎢零件和離子注入（rù）用鉬零件。
離子注入用鎢鉬（mù）零件所用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優化，包括細晶化、合金化處理，真空燒結和（hé）熱等（děng）靜壓（yā）燒結致密化，二次晶粒（lì）細化控軋技術（shù），普遍提高傳統鎢鉬（mù）材料（liào）的壽命、耐高溫及抗蠕變（biàn）性能。
我公司生產的離子注入（rù）用鎢鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高（gāo）溫力學性能指標比普通鎢鉬材料明顯提高，使用壽命也（yě）明顯延長（zhǎng）。