燈絲底襯(chèn)墊是離(lí)子注入機離子源的重要組件。不同粒子注入機廠家的燈絲底襯墊有不同的形狀和規格。我公司(sī)可根據客戶圖紙加工成型(xíng)。由於我們生產加(jiā)工燈絲底襯墊所需的鎢鉬原材料,所以除燈絲底襯墊尺(chǐ)寸精度(dù)外,產品(pǐn)性(xìng)能可以(yǐ)得到保障。
根據不同廠家(jiā)設計,燈絲底襯墊可能由鎢(wū)材質或鉬材質製成。
離子注入(rù)是現代集成(chéng)電路製造中的一種非常重要的技術,其(qí)利用離子注(zhù)入(rù)機(jī)實現半導體的摻雜,即使用鎢絲(sī)作為陰極發射電(diàn)子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子,產生電離的特定雜質原(yuán)子經(jīng)靜電場加速後打到(dào)矽單晶(jīng)圓片表麵,並打入半導體內部,改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由(yóu)於在(zài)離子源發生(shēng)的電子轉換(huàn)為電漿離子時(shí),會產生2000℃以上的工作溫度,離子束噴發時,也會產生很大的離子(zǐ)動能,一般金(jīn)屬會很快(kuài)燒熔,因此需要質量密度較(jiào)大的惰性金屬,以(yǐ)維持離(lí)子束噴發方向,並增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由於鎢(wū)鉬材料高溫化(huà)學性質穩定、熱變形小和使用壽(shòu)命長等優點,因此半導體(tǐ)行業離子注入機弧光反應腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造,這(zhè)些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒(tǒng)、發射麵(miàn)板、中心固定杆、起弧室內的絲極板等,我們統稱(chēng)為離(lí)子注入用(yòng)鎢零件和離子(zǐ)注入用鉬零件。
離子注入用鎢鉬零件所用材料經過對傳統鎢(wū)鉬材料工藝進行優化,包括細晶化、合金化處理,真空燒結和熱等靜壓燒(shāo)結致密化,二次晶粒細化控軋技術,普遍提高傳統鎢鉬材料的(de)壽(shòu)命、耐高(gāo)溫及抗蠕(rú)變性能。
我公司生產(chǎn)的離子注入用鎢鉬零(líng)件晶粒度細化,相對密度(dù)≥99%,高溫力學性能指(zhǐ)標(biāo)比普通鎢鉬材料明顯提高,使用壽命也明顯延長。