側板是離子注入機離子源的重要組件。不同粒子注入機廠家的側板有不同的形狀和規格。我公司可根（gēn）據（jù）客戶圖紙加工成型。由於我們生（shēng）產加工側板所（suǒ）需的鎢鉬原材料，所以除側板尺寸精（jīng）度外，產品性能（néng）可以得到保障。
根據不同廠（chǎng）家設計，側板可能由鎢材質或鉬材質製成。
離子注入是現代集成（chéng）電（diàn）路製造中的一種非常重要的技術，其利用離子（zǐ）注入機實（shí）現半導體（tǐ）的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發（fā）射電子（zǐ）轟擊含有特定的雜質元素的氣體（tǐ）分子，產生電離的特定（dìng）雜（zá）質原子經靜電場加（jiā）速後打到矽單晶圓片（piàn）表麵，並打（dǎ）入半導體內部，改（gǎi）變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在離子源發生的電（diàn）子轉換為電漿離子時，會產生2000℃以上的工（gōng）作溫度，離子束噴發時，也會產生很大的離子動能，一般金屬會很快燒熔，因此需要質量（liàng）密度較大的惰性金屬，以維持離子束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料高溫化學性質穩定、熱變形小和（hé）使用（yòng）壽命長等優點，因此半導體行（háng）業離子注入機弧光反應腔零（líng）組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造（zào），這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固（gù）定杆、起弧（hú）室內的絲極板等，我們統稱為離子注入用鎢零件和離子（zǐ）注入用鉬零件。
離子（zǐ）注入用鎢鉬零件所（suǒ）用材料經過（guò）對傳統鎢鉬材料工藝進行優化，包括細晶化、合金化（huà）處理，真空燒（shāo）結和熱等靜壓燒結致密化，二次晶粒細化控軋技術，普遍提高傳統鎢鉬材料的（de）壽命、耐高溫及抗蠕變性能。
我公司生產的（de）離子注入用鎢鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標（biāo）比普（pǔ）通鎢鉬材料明顯提（tí）高，使用壽命也明顯延長。