底板是離子注入機離子源的重要組件。不同粒子（zǐ）注入（rù）機廠（chǎng）家的底（dǐ）板有不同的（de）形狀和規格（gé）。我公司可根據（jù）客戶圖紙加工成（chéng）型（xíng）。由於我們生產（chǎn）加工底板所需（xū）的鎢鉬原材料，所以除底板尺寸精度外，產品性能可以得到保障。
根據不同廠家設計（jì），底板可（kě）能由鎢材質或鉬材質製成。
離子注入是現代集成電路製造中的一種非常重要的技術，其利用離子注入機（jī）實現半導體的摻雜，即使用鎢（wū）絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子，產生電離的特（tè）定雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵，並打入（rù）半導體內部，改變導電特性並（bìng）*終（zhōng）形成晶（jīng）體管結構。
由（yóu）於在（zài）離子源（yuán）發生的電子轉換為電漿離子時，會產生2000℃以上（shàng）的（de）工作溫度，離子束噴發時，也會產生很大的離子動能，一般金屬會很快燒熔，因此需要質量密度較（jiào）大的惰性金屬，以維持離子束噴發方向，並增加組件耐（nài）用度，鎢鉬是（shì）必選（xuǎn）材料。由於鎢鉬材料高溫化學性（xìng）質穩定、熱變形小（xiǎo）和使用壽（shòu）命長等優點，因此半（bàn）導體（tǐ）行（háng）業離子注入機弧光反應腔零組件及耗件多（duō）采用鎢、鉬材料製造，這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中（zhōng）心固定杆、起弧室內（nèi）的絲極板等，我們統稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零（líng）件。
離子注入用鎢鉬零件所用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優（yōu）化（huà），包括細晶化、合金化處理（lǐ），真空燒結和熱等（děng）靜壓燒結致密化，二次（cì）晶粒細化控軋技（jì）術（shù），普遍提高傳統鎢（wū）鉬材料的壽命、耐高溫及（jí）抗蠕變性能。
我公司生產的離子注入用鎢鉬零件（jiàn）晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標比普通（tōng）鎢鉬材料明顯提高，使用壽命也明顯延長。