端板根據（jù）客戶（hù）圖紙（zhǐ）洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

如果您對該產品感興趣的話，可（kě）以
產品名稱：端板
產品型號：根據客戶圖紙
產品展商：ACHEMETAL
產品文檔：無相關文檔

簡單介紹

洛陽愛（ài）科麥難熔金屬有限公司擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中（zhōng）心等各種設備，可（kě）按用戶要求加工各種離子注入用鎢端板和鉬端板等離子源組件。我公司加（jiā）工製作的離子注入（rù）用離子源端板具有密度高，純度高，尺寸精度好的特點。

產品描述

端板是離子（zǐ）注入機離子源的（de）重要組件。不同粒子注入（rù）機廠家的端（duān）板有不同的形狀和規（guī）格。我公司可（kě）根據客戶圖（tú）紙加工成型。由於我們生產加工端板所需的鎢鉬原材料，所以除端板尺寸精度外，產品性能可以得（dé）到保障。

根據不同廠家設計，端板可能由鎢材質或鉬材質製成。

離（lí）子注入是現代集成電路製造（zào）中的一種非常重要的技術，其利用離子注入機實現半導體的摻雜，即使（shǐ）用鎢絲作（zuò）為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元（yuán）素的（de）氣體（tǐ）分子，產生電（diàn）離的特定雜質原子經靜電場加速後（hòu）打到矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。

由於在離（lí）子源發生的電子轉（zhuǎn）換為電（diàn）漿離子時，會（huì）產生2000℃以上的工作溫度，離（lí）子束噴發時，也會產生很（hěn）大（dà）的離子動能，一般金（jīn）屬會（huì）很快燒熔，因此需（xū）要質量密度較大的惰性金屬，以維持（chí）離子束噴發方向，並增加組（zǔ）件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材（cái）料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長等優點，因此半導體行業（yè）離子注入機弧（hú）光反應腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造，這些（xiē）器件包括發射電子陰（yīn）極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定杆（gǎn）、起弧室內的絲極（jí）板等（děng），我們統稱為離子注入（rù）用鎢零件和離子注入（rù）用鉬零件（jiàn）。

離子注入用鎢鉬零件（jiàn）所用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優化（huà），包括細晶化、合金（jīn）化（huà）處理，真空燒結和熱等靜壓燒結致密化，二次晶粒細化控軋技術，普遍（biàn）提高傳統鎢鉬材料（liào）的壽命（mìng）、耐高溫及抗蠕變性能。

我公（gōng）司生產的離子注入用鎢（wū）鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高（gāo）溫力（lì）學性能指（zhǐ）標比普通鎢鉬材料（liào）明顯提高，使用壽命也明顯（xiǎn）延長。