反射件是離子注入機離子源的重要組件。不同粒子注入（rù）機廠家的反射件有不同的（de）形狀（zhuàng）和規格。我公司可根據客戶（hù）圖紙加工成型。由於（yú）我們生產加工反射件所需的鎢鉬原材料，所以除反射件尺寸精度外，產品性能（néng）可以得到保障。
根據不同廠家設計，反射件可能由鎢材（cái）質或（huò）鉬材質製成。
離子注入是現代集成電路製造中的一種非常重要的技術，其利（lì）用離子注入機實現半導體的摻雜，即使用鎢絲作為（wéi）陰極發射電子轟擊含有特定的雜質（zhì）元素的（de）氣體分（fèn）子，產（chǎn）生電離的特定雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在（zài）離子源發生的電子轉換為電漿離子時，會產（chǎn）生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發（fā）時，也會產生很大的離子動能，一般金屬會很快燒熔，因此需要質量（liàng）密度較大的惰性（xìng）金屬，以維持離子束（shù）噴（pēn）發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料（liào）。由於鎢鉬材料高溫化學性質穩（wěn）定、熱變形小和（hé）使用壽命長等優點，因此半導體行業離子注入機弧光反應（yīng）腔零（líng）組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造，這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定杆、起弧室內的絲極板等，我們（men）統稱為離子（zǐ）注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。
離（lí）子注入用鎢鉬零件所用材（cái）料經過對傳統鎢鉬材（cái）料工藝（yì）進行優化，包括細晶化、合金化處理，真空燒結（jié）和熱等靜（jìng）壓燒結致密化，二次晶粒細化控軋技術，普遍提高傳統鎢鉬材料的壽（shòu）命、耐（nài）高溫及抗蠕變性能。
我公司生產的離子注入用鎢鉬零（líng）件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標（biāo）比普通鎢鉬材料（liào）明顯提高，使用壽命也明顯延長。