燈絲根據客戶圖紙洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

如果您對該產品感興趣的話，可以
產品名稱：燈絲
產品型（xíng）號：根據客戶圖紙
產品展商：ACHEMETAL
產（chǎn）品文檔：無相關文檔

簡單介紹

洛陽愛科麥難熔金屬有限（xiàn）公司擁有車、銑、刨（páo）、磨、電加工、加工中心等各種設備，可按用戶要（yào）求加工各種離子注入用鎢燈絲等離子源組件。我公（gōng）司加（jiā）工製作（zuò）的（de）離子（zǐ）注入（rù）用離子源（yuán）燈絲具有密度高，純度高，尺寸精度好的特點。

產品（pǐn）描述

燈絲是離子注入機離子源的重（chóng）要組件。不同粒子注入機廠家的燈（dēng）絲有不同的形狀和規格。我公司可根據客戶圖紙加（jiā）工成型。由於我們生產加工燈絲所需的鎢（wū）杆，所以（yǐ）除燈絲尺寸精度外，產（chǎn）品性能可以得到保障。

離子注入是現代集成電路製造中的一種非（fēi）常重要的技術，其利用離子注入機實現半導體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極（jí）發（fā）射電子（zǐ）轟擊含（hán）有特定的雜（zá）質元素的氣體分子，產生電離的特定雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵，並打入半導體內部，改（gǎi）變導電特性並*終形成晶體管結構。

由於在離（lí）子源發生（shēng）的電子轉換為電漿離子（zǐ）時，會產（chǎn）生2000℃以上的工（gōng）作（zuò）溫度，離子（zǐ）束噴發時，也會產生很（hěn）大的離子動能，一般金（jīn）屬會很快燒熔，因此需（xū）要質量密度（dù）較大的（de）惰性金屬，以維持離子束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢（wū）鉬（mù）是必（bì）選材料。由於鎢鉬材（cái）料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長（zhǎng）等（děng）優點，因（yīn）此半導體行業離子注入機弧光反應腔零組（zǔ）件及耗件多采用鎢（wū）、鉬材料製造，這些器件包括發射電子陰（yīn）極的屏蔽筒、發射燈（dēng）絲、中心固定杆、起弧室內的絲極板等，我們統（tǒng）稱為離子注入用鎢零件和離子注（zhù）入用鉬零件（jiàn）。

離子注入用鎢鉬零件所（suǒ）用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優（yōu）化，包括細晶化、合金化處理，真空燒結和熱等靜壓燒結致密化，二次晶粒細化控軋技術，普遍提高傳統（tǒng）鎢鉬材料的（de）壽命、耐高溫及抗蠕變性（xìng）能。

我公司（sī）生產的離子注入用鎢鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指（zhǐ）標比普通鎢鉬材料明顯提高（gāo），使用壽命也明顯延長。