燈絲夾是離子注入機離子源(yuán)的重要組件。不同粒子注入機廠家的(de)燈絲夾有不同(tóng)的形狀(zhuàng)和(hé)規格。我公司可根據客戶圖紙加工成型。由於(yú)我們生產加工燈絲夾所(suǒ)需的鎢(wū)鉬(mù)原材料(liào),所以除產品尺寸精度外,產品性能可以得(dé)到保障。
根據不(bú)同廠家設計,燈絲夾(jiá)可能由鎢材質或鉬材質製成。
離子(zǐ)注入是現代集成電(diàn)路製(zhì)造(zào)中的一(yī)種非(fēi)常重(chóng)要的技術,其利用離子注入機(jī)實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子(zǐ)轟擊含(hán)有特定(dìng)的雜質(zhì)元素的氣體分子,產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經靜電場加速後打到矽單晶圓片表麵,並打入半導體內部,改變導電(diàn)特性並(bìng)*終形(xíng)成晶體管結構。
由於在離子源發生的電子轉換為電漿離子時,會產生2000℃以上的工作溫度,離子束噴(pēn)發時,也會產生很大的離子動(dòng)能,一般金屬會很快燒熔,因此需要質量密度較大的惰性金屬,以(yǐ)維持離子束噴發(fā)方向,並增加組(zǔ)件耐用度,鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料高溫化(huà)學性質穩定、熱變形小和使用壽命長(zhǎng)等優點,因(yīn)此半導體行業離子注入機弧光反應腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造,這些器件包括發射(shè)電子陰極的(de)屏(píng)蔽筒(tǒng)、發射燈絲夾、中心固定杆、起弧室(shì)內的絲極板等,我們統稱為離子注(zhù)入用鎢零件和離子(zǐ)注入用鉬零件。
離子注入用鎢鉬零件所用材料(liào)經過對傳統鎢鉬材料工藝(yì)進(jìn)行(háng)優化(huà),包括細晶化、合金(jīn)化處理,真空燒結和熱等靜壓燒結致密化(huà),二次晶粒細化控軋技術,普遍提高傳統鎢鉬材料(liào)的壽命、耐高(gāo)溫及抗蠕變性能。
我公司生產(chǎn)的離子注入用鎢(wū)鉬零件晶粒度細化,相對密(mì)度≥99%,高溫力學性能指標比普通鎢鉬材料明顯提高(gāo),使用壽命也明顯延長。