麵板是離子注入機離子（zǐ）源的重要組件。不同粒子注入機廠家的麵（miàn）板（bǎn）有不同（tóng）的形狀（zhuàng）和規格。我公司可（kě）根據客戶圖紙加工（gōng）成型。由於我們生產加工麵板所需的（de）鎢鉬原材料，所以除麵板尺寸精度外，產品性能可以得到保障。
根據不（bú）同廠家設（shè）計，麵板（bǎn）可能（néng）由鎢材質或鉬材質製成。
離子注入是現代集成電路製造中的一種（zhǒng）非常重要的技術，其利用離子注入機實現半（bàn）導體的摻雜，即使用鎢絲作為陰（yīn）極（jí）發（fā）射電子轟擊含有特（tè）定的雜質元素的氣（qì）體分（fèn）子，產生電離的特定雜質原子經靜電場加速後打（dǎ）到矽單晶圓片表麵（miàn），並（bìng）打入半導體（tǐ）內（nèi）部，改變導電特性並*終形（xíng）成晶（jīng）體管結構。
由於在離子源發生的電子轉（zhuǎn）換為電漿離子時，會產生2000℃以上（shàng）的工（gōng）作溫度，離子束噴發時（shí），也會產生很大的離子動能，一般金（jīn）屬會很快燒熔，因此需要質（zhì）量密度較大的惰性金屬，以維持（chí）離（lí）子束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長等優點，因此半導體行業離子（zǐ）注入機弧光反應腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料製造，這些器（qì）件包括發射電子陰極的屏（píng）蔽筒、發射麵板、中心固定杆、起弧室（shì）內（nèi）的絲極板等，我們統稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。
離（lí）子注入用鎢鉬零件所用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優（yōu）化（huà），包括（kuò）細（xì）晶化、合金化處理，真空燒結和熱等靜壓燒結致（zhì）密化，二次晶粒細化控軋（zhá）技術（shù），普遍提高傳（chuán）統鎢鉬材料（liào）的壽命、耐高溫及抗蠕變（biàn）性能。
我公司生產的離子注入用鎢鉬零件（jiàn）晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標比普通鎢鉬材料明顯提（tí）高，使用壽（shòu）命也（yě）明顯延長。
鎢麵板
鉬麵板
