弧光室是離子注入機離（lí）子源的重（chóng）要組件。不同粒子注入機廠家的（de）弧光室有不（bú）同的形狀（zhuàng）和規格。我公司可根據客戶圖紙（zhǐ）加工成型。由於我們生產加工（gōng）弧（hú）光室所需的鎢鉬原材（cái）料，所（suǒ）以除弧光室（shì）尺寸精度外，產品性能可以得（dé）到保障。
根據不同廠家設計，弧（hú）光室可能由鎢材質或鉬材（cái）質製成。
離子注（zhù）入是現代集成電路製造（zào）中的一種（zhǒng）非常（cháng）重要的技術，其利用離子注入機（jī）實現半（bàn）導體的（de）摻雜，即（jí）使用（yòng）鎢絲作為陰極發射電子（zǐ）轟擊含有特定的雜質元素的氣體（tǐ）分子，產生電（diàn）離的特定雜質原子經靜電場加速（sù）後打到（dào）矽單晶圓片表麵，並打（dǎ）入半（bàn）導體（tǐ）內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。
由於在離子源發生的（de）電子（zǐ）轉換為電漿（jiāng）離子時，會產生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發時，也（yě）會產（chǎn）生很（hěn）大的（de）離（lí）子動能，一般金屬會很快燒熔，因此需要質量密度較大的惰性金屬，以維持離子（zǐ）束噴發方向，並增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料高溫化學性質穩定（dìng）、熱變形小和使用壽命長等優點，因此（cǐ）半導體行業離子注入機弧光反應腔零（líng）組件及耗件多采用鎢、鉬材料（liào）製造，這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板、中心固定杆、起弧室內的絲極板等，我們統稱為離子注（zhù）入用鎢零件和離子注（zhù）入用鉬（mù）零（líng）件。
離子注（zhù）入用鎢鉬零件所用材料經（jīng）過對傳統鎢鉬材料工藝進行優化，包括細晶化、合金化處理，真（zhēn）空燒結和熱（rè）等靜壓燒（shāo）結致密化，二次晶粒細化控軋技（jì）術（shù），普遍提高傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕（rú）變性能。
我（wǒ）公司生產的離子注入用鎢鉬零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指（zhǐ）標比普通鎢鉬材料明顯提高，使用壽命也明顯延長。
鎢（wū）弧光室
鉬弧光室
