離（lí）子源（yuán）根據客（kè）戶圖紙洛（luò）陽（yáng）愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

如果您對該產品感興趣的話，可以
產品名（míng）稱：離子源
產品型號：根據客戶圖紙（zhǐ）
產品展商：ACHEMETAL
產品文檔：無相關文檔

簡單介紹

洛陽愛（ài）科麥（mài）難熔金屬有限（xiàn）公司（sī）擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設備，可按用戶要求加工各種（zhǒng）離子注入用機用離子源的鎢鉬及其它金屬元件，並組合成整體離子源成品。

產品描述

離子注入是現代集成（chéng）電路製造中的一種非常重要的技術，其利用離子（zǐ）注入機實現半導體的摻雜，即（jí）使用鎢絲作為陰極發射電子轟（hōng）擊（jī）含（hán）有特定的雜質元素的氣體分子，產（chǎn）生電離的特（tè）定雜質原子經靜電場加速後打到矽單晶（jīng）圓片表麵，並打入半導體內部，改變導電特性並*終形成晶體管結構。

由於在（zài）離子源發射離子轉換為電（diàn）漿離子時（shí），會產生2000℃以上的工作溫度，離（lí）子束噴發時，也會產生很大的離子動能，一（yī）般金（jīn）屬會很快燒熔，因此需要質量密度較大的惰（duò）性金屬，以維持離（lí）子束噴發方向，並增加（jiā）組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由於鎢鉬材料高溫化（huà）學性質穩定、熱變（biàn）形小和使（shǐ）用壽命長等優點，因此半導體（tǐ）行業離子注入機離子源組件及耗件（jiàn）多采用（yòng）鎢（wū）、鉬材料製造，這些（xiē）器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射麵板（bǎn）、中心固定（dìng）杆、起弧室內的絲極板等。

離子注入離（lí）子源所用鎢鉬材料經過對傳統鎢鉬（mù）材料工藝進行優化，包括細晶化、合金化處理，真空燒結和熱等靜壓燒結致密化（huà），二次晶粒（lì）細化（huà）控軋技術，普遍提高（gāo）傳（chuán）統鎢鉬材料的（de）壽命、耐高溫及抗蠕變（biàn）性（xìng）能。

我公司（sī）生產的離子源（yuán）用鎢鉬（mù）零件晶粒度細化，相對密度≥99%，高溫力學性能指標比普通鎢材料明顯提高，使用（yòng）壽命也（yě）明顯延長。