電子束（shù）蒸發的原理是基於電子在（zài）電場（chǎng）作用（yòng）下，獲得動能打到蒸鍍（dù）材料上，使蒸鍍（dù）材料（liào）加熱汽化（huà），而實現蒸發鍍膜。
電子槍是（shì）電子束蒸發源。它由燈絲及其連接的陰極、聚束極、和陽（yáng）極組成。其中燈絲和（hé）陰極通常由鎢或鉬材料製成。
電子槍加熱特點：
1、電子槍加熱比電阻加熱具有更高的能量密度（dù），可以蒸發高熔點材料，如W、Mo、Al2O3等，並可得到較高的蒸發速率；
2、被蒸發材料置於水冷銅坩堝內，可避免坩（gān）堝材料汙染，可製備高純薄膜；
3、電子槍蒸發粒子動能大，有利於獲得致密、結合力（lì）好（hǎo）的膜層。