濺射是一種先進的薄膜(mó)材(cái)料製備技術, 它(tā)利用離子源產生的離子, 在真空中加速聚集成高速離子流, 轟擊固體表麵, 離子和固體表麵的原子發生動能(néng)交換, 使固體表麵的原子離開靶材並沉積在基材表麵, 從而形成納米或微米薄膜。而被轟擊的固體是用(yòng)濺射(shè)法沉積薄膜的原材料, 稱為濺射靶材。鎢靶材和(hé)鉬(mù)靶(bǎ)材(cái)可在各類基材上形成薄膜, 這種濺射膜(mó)廣泛(fàn)用作電子部件(jiàn)和電子產品, 如目前廣泛應用的TFT - LCD ( 薄膜半導體管(guǎn)-液晶顯示器)、等離子顯示屏、無機光發射二極管顯示器、場(chǎng)發射(shè)顯示器、薄膜太陽能電池、傳(chuán)感器、半導體裝(zhuāng)置以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物(wù)半導(dǎo)體)的場效應晶體管柵極(jí)等 。
愛科麥可(kě)生產的鎢濺射靶材(cái)包括鎢(wū)平麵靶(bǎ)材和鎢(wū)旋(xuán)轉靶材,以配合不同型號的磁控濺射設備(bèi)使用。在使用過程中,鎢旋轉靶材的利用率遠大於鎢平麵靶材。
由於鎢材料加工難度較大,目前我公司可生產的鎢(wū)旋轉靶材長度限於1.2米以內。
由於使(shǐ)用了熱(rè)等靜壓技術,愛科麥生產(chǎn)的鎢旋轉靶材(cái)的密度接近理論密度(dù),其組織均勻(yún)性及純度等指標均受到了客(kè)戶好評。
衡量靶材(cái)的質(zhì)量主要因素有 純度、致(zhì)密度、晶粒尺寸及分布等。在這些方麵(miàn),愛科麥(mài)投入了大量的資金和精力進行(háng)研發並取得(dé)了顯著成效。並形成了具有以下特點的生(shēng)產(chǎn)工藝(1)選(xuǎn)擇高純鎢粉作為原料; ( 2)獨(dú)有的成形(xíng)燒(shāo)結技(jì)術, 以保證靶材的低孔隙率, 並控製晶粒度; ( 3)製備過程嚴格控製雜質元素的(de)引入。(4)對部分高要求產品采用熱等靜壓方法,*大程度地獲得了(le)鎢旋(xuán)轉靶(bǎ)材的良好性(xìng)能。 此方法製(zhì)得的鎢靶材獲得了18.6以上極高密度細晶粒(lì)產品。