洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有(yǒu)限公司

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郵箱:sales@ibm315.cn


電(diàn)話:037965190900 藍寶石事(shì)業部 (侯晶晶)
電話:037965190908 基礎材料及醫療事(shì)業部(朱曉靜)
電(diàn)話:037965190909 核工業事業部 (楊小貝)
電話:037965190902 光伏單晶爐事業部 (李明(míng))
電話:037965999032 濺射靶材事業部 (張春燕)
電話(huà):037965190907 真空爐事業部 (郭雙柯)
電話:037965999691 鎢鉬合(hé)金(jīn)事業部 (範朝獻)
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鎢坩(gān)堝,鎢片,鉬靶,藍寶石晶體生長爐熱場(chǎng),鎢鉬合金,鎢(wū)棒,鎢板,鉬片(piàn),鉬杆,鎢鉬靶材

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洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司
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鎢旋轉(zhuǎn)靶材

鎢旋轉靶材
  • 如果您對該產品感興趣的話(huà),可以
  • 產品名稱:鎢旋轉靶材
  • 產品型號:直徑5英寸 5.5英(yīng)寸 6英寸
  • 產品展商:ACHEMETAL
  • 產品文(wén)檔:無相關文檔(dàng)
簡單介紹

洛陽愛科麥擁有熱等靜壓、大(dà)型冷等靜壓、大型真空和氣體保護燒結(jié)爐、大型數控銑床和大型數控磨床等設備及成熟的生(shēng)產工藝,可以(yǐ)批量生產平麵鉬靶(bǎ)材、旋轉鉬靶(bǎ)材(cái)、平麵鉬铌靶材、旋轉鉬铌(ní)靶材、鉬(mù)鉭靶材、平麵鎢靶材、旋轉鎢靶材、鎢鈦靶材、鉻靶材等。

產品(pǐn)描(miáo)述

 

濺射是一種先進的薄膜(mó)材(cái)料製備技術它(tā)利用離子源產生的離子在真空中加速聚集成高速離子流轟擊固體表麵離子和固體表麵的原子發生動能(néng)交換使固體表麵的原子離開靶材並沉積在基材表麵從而形成納米或微米薄膜。而被轟擊的固體是用(yòng)濺射(shè)法沉積薄膜的原材料稱為濺射靶材。鎢靶材和(hé)鉬(mù)靶(bǎ)材(cái)可在各類基材上形成薄膜這種濺射膜(mó)廣泛(fàn)用作電子部件(jiàn)和電子產品如目前廣泛應用的TFT - LCD (  薄膜半導體管(guǎn)-液晶顯示器)、等離子顯示屏、無機光發射二極管顯示器、場(chǎng)發射(shè)顯示器、薄膜太陽能電池、傳(chuán)感器、半導體裝(zhuāng)置以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物(wù)半導(dǎo)體)的場效應晶體管柵極(jí)等  

 

愛科麥可(kě)生產的鎢濺射靶材(cái)包括鎢(wū)平麵靶(bǎ)材和鎢(wū)旋(xuán)轉靶材,以配合不同型號的磁控濺射設備(bèi)使用。在使用過程中,鎢旋轉靶材的利用率遠大於鎢平麵靶材。

由於鎢材料加工難度較大,目前我公司可生產的鎢(wū)旋轉靶材長度限於1.2米以內。 

 

由於使(shǐ)用了熱(rè)等靜壓技術,愛科麥生產(chǎn)的鎢旋轉靶材(cái)的密度接近理論密度(dù),其組織均勻(yún)性及純度等指標均受到了客(kè)戶好評。

 

衡量靶材(cái)的質(zhì)量主要因素有 純度、致(zhì)密度、晶粒尺寸及分布等。在這些方麵(miàn),愛科麥(mài)投入了大量的資金和精力進行(háng)研發並取得(dé)了顯著成效。並形成了具有以下特點的生(shēng)產(chǎn)工藝(1)選(xuǎn)擇高純鎢粉作為原料; ( 2)獨(dú)有的成形(xíng)燒(shāo)結技(jì)術以保證靶材的低孔隙率並控製晶粒度; ( 3)製備過程嚴格控製雜質元素的(de)引入。(4對部分高要求產品采用熱等靜壓方法,*大程度地獲得了(le)鎢旋(xuán)轉靶(bǎ)材的良好性(xìng)能此方法製(zhì)得的鎢靶材獲得18.6以上極高密度細晶粒(lì)產品。  

 

 

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